ASTM F1526-95(2000) - Стандарты и спецификации PDF

Стандартный №: ASTM F1526-95(2000)
Дата публикации: 1970
Разместил: /
Последняя версия: ASTM F1526-95(2000)

сфера применения: 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает количественное определение поверхностной плотности элементов на поверхности полированных подложек монокристаллического кремния с использованием рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF2) с монохроматическим источником рентгеновского излучения. 3 1.2 Этот метод испытаний можно использовать как для кремния n-типа, так и для кремния p-типа. 1.3 Этот метод испытаний можно использовать для обнаружения поверхностного элементарного загрязнения, которое находится в пределах глубины аналита примерно 5 нм для зеркально полированных кремниевых пластин. Аналитическая глубина увеличивается с увеличением шероховатости поверхности. 4 1.4 Этот метод испытаний особенно полезен для определения поверхностной плотности элементов в естественном или химически выращенном оксиде полированных кремниевых пластин после очистки. 1.5 Этот метод испытаний полезен при поверхностной плотности элементов от 109 до 1015 атомов/см2 в пределах зоны измерения. См. Приложение A1 для обсуждения взаимосвязи между повторяемостью и пределом обнаружения. 1.6 Этот метод испытаний полезен для обнаружения элементов с атомным номером от 16 (S) до 92 (U), в зависимости от источника рентгеновского излучения, предусмотренного в приборе. Этот тест особенно полезен для обнаружения следующих металлов или элементов: калий, кальций, титан, ванадий, хром, марганец, железо, кобальт, никель, медь, цинк, мышьяк, молибден, палладий, серебро, олово, тантал, вольфрам, платина. , золото, ртуть и свинец. 1.7 Предел обнаружения зависит от атомного номера, энергии возбуждения, потока фотонов возбуждающего рентгеновского излучения, инструментального фона, времени интегрирования и холостого значения. При постоянных приборных параметрах пределы безинтерференционного обнаружения изменяются более чем на два порядка в зависимости от атомного номера элемента. 1.8 Данный метод испытаний является неразрушающим. 1.9 Этот метод испытаний дополняет ряд других методов испытаний: 1.9.1 Электронная спектроскопия для химического анализа, позволяющая обнаружить поверхностную плотность элементов вплоть до порядка 10 13 атомов/см2. 1.9.2 Электронная оже-спектроскопия, позволяющая обнаружить поверхностную плотность элементов до порядка 102 атомов/см 2 . 1.9.3 Спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния азотного пучка, которая может обнаруживать до 1010 атомов/см2 для некоторых элементов, но не позволяет масс-разделять тяжелые элементы с близким атомным номером. 1.9.4 Масс-спектрометрия вторичных ионов, которая может обнаруживать площади элементов с низким атомным номером в диапазоне от 108 до 1012 атомов/см2, но не может обеспечить адекватные пределы обнаружения для переходных металлов с атомным номером между 22 титана и 30 цинка. Этот метод является разрушительным. 1.9.5 Парофазовый разложение (ПФД) поверхностных металлов с последующей атомно-абсорбционной спектроскопией (ААС), при котором пределы обнаружения металлов составляют от 10 8 до 1011 атомов/см2, но пространственная информация отсутствует и время анализа превышает TXRF. Этот метод является разрушительным. 1.10 В этом методе испытаний используется рентгеновское излучение; абсолютно необходимо избегать личного воздействия рентгеновских лучей. Особенно важно держать руки или пальцы подальше от рентгеновских лучей и защищать глаза от рассеянного вторичного излучения. Рекомендуется использовать коммерческие пленочные бейджи или дозиметры, а также периодически проверять уровень радиации в положениях рук и тела с помощью счетчика Гейгера-Мюллера, откалиброванного по стандартному ядерному источнику. В настоящее время максимально допустимая доза при общем облучении тела человека внешним рентгеновским излучением с квантовой энергией менее 3 МэВ в течение неопределенного периода времени составляет 1,25 Р (3,22 3 10 -4 Кл/кг) за календарный квартал (что эквивалентно 0,6 мР/кг). ч (1,5 3 10 -7 Кл/кг-ч), как установлено СФП, разд. 10, ч. 20. В настоящее время максимально допустимая доза облучения кисти и предплечья в тех же условиях составляет 18,75 Р (4,85 3 10 - 3 Кл/кг) за календарный квартал (что эквивалентно 9,3 мР/ч (2,4 3 10 -6 Кл/кг-ч)). Помимо указанных выше норм, различные другие государственные и регулирующие организации имеют свои собственные требования безопасности. ответственность пользователя за проверку соответствия оборудования и условий 1. Этот метод испытаний находится в ведении комитета ASTM F01 по электронике и прямой ответственности подкомитета F01.06 по кремниевым материалам и контролю процессов. Текущая редакция утверждена 15 сентября. , 1995. Опубликовано в ноябре 1995 года. Первоначально опубликовано как F 1526 – 94. Последнее предыдущее издание F 1526 – 94a. 2 Используется несколько сокращений: TXRF, TRFA и TRXRF; однако TXRF наиболее распространен в технической литературе. 3 Существуют некоторые немонохроматические приборы TXRF, которые больше не доступны в продаже и не обеспечивают описанных здесь пределов обнаружения. 4 Крайний случай шероховатости на обратной стороне пластин рассмотрен Хокеттом, Р.С., «TXRF-измерение загрязнения задней стороны подложки», Технология очистки в производстве полупроводниковых устройств, ECS Proceedings, Том 92-12, The Electrochemical Society, Inc., Пеннингтон. , Нью-Джерси, 1992, с. 350. 1 Авторские права © ASTM, 100 Barr Harbour Drive, West Conshohocken, PA 19428-2959, США. ВНИМАНИЕ: Этот стандарт либо был заменен новой версией, либо прекращен. Свяжитесь с ASTM International (www.astm.org) для получения последней информации. в соответствии с которым он используется, соответствуют этим правилам (см. 1.11). 1.11 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1526-95(2000) Ссылочный документ

ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
ASTM E135 Стандартная терминология, относящаяся к аналитической химии металлов, руд и родственных материалов*， 1999-10-26 Обновление

ASTM F1526-95(2000) История

1970 ASTM F1526-95(2000)