Настоящий стандарт определяет классификацию, требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества, содержание заказа (или контракта) и безопасность плавиковой кислоты высокой чистоты для использования в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на плавиковую кислоту высокой чистоты, используемую в электронной промышленности (далее – плавиковая кислота высокой чистоты). Этот продукт в основном используется для очистки и травления кремниевых пластин и чипов для поликремния электронного качества, жидкокристаллических дисплеев, интегральных схем и очень крупных интегральных схем.
T/CNIA 0062-2020 История
2020T/CNIA 0062-2020 плавиковая кислота высокой чистоты для электронной промышленности