NF EN 62047-17:2015
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.

Стандартный №

NF EN 62047-17:2015

Дата публикации

2015

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF EN 62047-17:2015

NF EN 62047-17:2015 История

• 2015 NF EN 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.