Электростатический патрон представляет собой структуру группы электродов с определенной функциональной структурой, установленную внутри диэлектрического материала с высокой относительной диэлектрической постоянной, и изготавливается с помощью комплексных процессов, таких как коагуляция, спекание и склеивание. Настоящий документ определяет термины и определения электростатических патронов для процессов травления сложных полупроводниковых приборов, а также определяет их структуру и классификацию, условия работы, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение.
T/CEPEA 0102-2023 История
2024T/CEPEA 0102-2023 Электростатический патрон для процесса травления составных полупроводниковых приборов.