4Обзор 4.1Назначение Микроамперметр сопротивления уровня фемтоампера (фА) (далее именуемый калибруемым измерителем) представляет собой прибор, который выдает слабые токовые сигналы от датчиков, таких как излучение, высокое сопротивление и вакуум. может измерять ток и решать. Сила достигает уровня фа. 4.2 Принцип и структура В соответствии с различными принципами работы формирователя предварительного сигнала резистивные микроамперметры можно разделить на тип измерения сопротивления и тип обратной связи по сопротивлению. Принцип заключается в следующем: а) Микроамперметр постоянного тока для измерения сопротивления: Как показано на рисунке 1, он состоит из выборки резисторов высокого номинала, электростатических усилителей и измерения напряжения постоянного тока. б) Микроамперметр постоянного тока с резистивной обратной связью. Как показано на рисунке 2, он состоит из выборочных резисторов высокого номинала, электростатических усилителей и устройства измерения напряжения постоянного тока. 5Характеристики измерений 5.1Внешний вид На резистивном микротоке с уровнем фемтоампер (фа) должны быть следующие отметки: название прибора, модель, название производителя и серийный номер, дата изготовления и т. д. 5.2 Погрешность индикации 5.3 Максимально допустимая погрешность 6 Условия калибровки 6.1 Условия окружающей среды Температура окружающей среды: (20±2)℃ Относительная влажность: (50±10) % Электропитание Электропитание: (220±22) В, (50±1) Гц Лаборатория должна иметь электромагнитное экранирование и антистатические меры Должно быть надежное заземление и отсутствие помех от сильных электромагнитных полей Свести к минимуму количество электронного оборудования в лаборатории и снизить уровень шума в лаборатории.Персонал, перемещение и деятельность персонала во время калибровки должны быть сведены к минимуму.Калибровка должна проводиться в засушливое время года, а для транспортировки и хранения должна быть выполнена влагонепроницаемая упаковка. 6.2Элементы калибровки и элементы калибровки оборудования показаны в Таблице 1 ниже. Стандартное оборудование, используемое для измерений, должно быть поверено или откалибровано метрологическим техническим учреждением на соответствие требованиям прослеживаемости. Диапазон измерений стандартного оборудования должен охватывать диапазон калибровки и иметь достаточное разрешение, точность и стабильность. Расширенная неопределенность эталона измерений (k=2) составляет менее 1/3 предельно допустимой погрешности калибруемого счетчика. В соответствии с используемым методом калибровки выберите подходящее стандартное и вспомогательное оборудование из следующего оборудования. a) Стандартный источник постоянного тока (или АКТИВНЫЙ) b) Стандартный источник постоянного тока постоянного напряжения (или ПАССИВНЫЙ) c) Стандартный источник постоянного напряжения d) Стандартное сопротивление. 7Метод калибровки 7.1Осмотр внешнего вида Визуальный осмотр. 7.2 Проверка нормальности работы: Калиброванный измеритель должен нормально работать после включения, различные инструкции должны быть точными, функции каждой кнопки должны быть нормальными, а отображение входного сигнала должно соответствовать требованиям. Дисплей и различные индикаторы состояния (флажки) должны быть нормальными. 7.3. Погрешность индикации измерения тока/максимально допустимая погрешность. Чтобы обеспечить стабильную работу калибруемого счетчика, его следует поместить в указанные условия окружающей среды более чем на 2 часа и предварительно нагреть в соответствии с инструкциями и фактическими потребностями работы. . Соединительные кабели или адаптеры для передачи сигнала должны минимизировать нагрузку, максимально сохранять относительно фиксированное состояние и в то же время избегать вибрации рабочей поверхности. 7.3.1 Выбор точки калибровки Выберите от 3 до 5 точек калибровки равномерно для каждого диапазона калибруемого измерителя, включая 10%, 50% и 100% точки диапазона. Примечание. Точки калибровки также можно выбрать в соответствии с потребностями клиента. 7.3.2 В методе прямой калибровки используется источник стандартного постоянного тока постоянного тока (или АКТИВНЫЙ) для непосредственной калибровки калибруемого счетчика. Этот метод подходит для калибровки типа выборки сопротивления и типа обратной связи по сопротивлению, подлежащего калибровке. Используйте источник стандартного постоянного тока постоянного напряжения (или ПАССИВНЫЙ) для непосредственной калибровки калибруемого измерителя. Этот метод применим только для калибровки калиброванного измерителя с обратной связью по сопротивлению, но не для калибровки калиброванного измерителя с типом выборки сопротивления. Этапы калибровки следующие: (1) Как показано на рисунке 3, подключите выходную клемму стандартного источника тока к входной клемме измерителя, подлежащего калибровке, через адаптер с помощью малошумящей тестовой линии. Стандартный источник должен находиться в состоянии пассивной защитной защиты или незащищенной защиты (UNGUARD). (2) Установите выход стандартного источника на 0 и выведите его. После того, как показания калиброванного счетчика станут стабильными, очистите калиброванный счетчик (3) Установите значение выходного тока стандартного источника тока в соответствии с выбранной точкой калибровки в соответствии с диапазоном. калибруемого счетчика. (4) Включите выход стандартного источника тока и считайте калиброванное значение после того, как показания калиброванного счетчика станут стабильными. (5) Запишите стандартное значение настройки источника тока Ir и калиброванное значение It. (6) Погрешность показаний калиброванного счетчика составляет: 7.3.3 Косвенный метод калибровки показан на рисунке 4 с использованием стандартного источника напряжения и стандартного сопротивления для калибровки калиброванного счетчика. Этот метод применим только для калибровки калиброванного измерителя с обратной связью по сопротивлению и не применим к калибровке калиброванного измерителя с типом выборки сопротивления. Шаги калибровки следующие: (1) Подсоедините провод согласно рисунку 4. (2) В соответствии с диапазоном калибруемого измерителя выберите стандартный резистор высокого номинала с соответствующим значением сопротивления. Отрегулируйте выход стандартного источника напряжения постоянного тока в соответствии с выбранной точкой калибровки и считайте указанное значение на калиброванном измерителе. В соответствии с выбранной точкой калибровки выполните расчет по формуле и установите выход источника стандартного напряжения постоянного тока. (3) После того, как показания калиброванного счетчика станут стабильными, считайте калиброванное значение It. (4) Погрешность показаний калибруемого измерителя составляет: 8. Обработка результатов калибровки. 8.1. Обработка результатов калибровки. Калиброванные резистивные микротоковые измерители уровня фемтоампер (фА) должны выдаваться с сертификатом о калибровке. Форма записи результатов калибровки в сертификате калибровки приведена в Приложении А. 8.2 Цикл калибровки Рекомендуется, чтобы интервал повторной калибровки резистивного микроамперметра фемтоамперного уровня (фа) составлял один год. ПриложениеПриложениеB (Нормативное приложение) Пример оценки неопределенности калибровки
T/BEA 43003-2023 История
2023T/BEA 43003-2023 Спецификация калибровки измерителя низкого тока сопротивления уровня фА