GB/T 39516-2020 (Англоязычная версия) Стандартные образцы микро-нано (геометрические)

сфера применения: Настоящий стандарт устанавливает термины и определения, виды и основные параметры, требования, условия контроля, методы контроля, знаки, транспортирование и хранение стандартных шаблонов микро-нано (геометрических величин). Настоящий стандарт применим к стандартному шаблону расстояния между проводами микро-нано с межстрочным интервалом от 0,05 до 10 мкм, стандартному образцу высоты ступени микро-нано с высотой ступеньки от 0,01 до 100 мкм и толщиной пленки 2 нм. Стандартный образец толщины нанопленки и стандартный образец нанометровой ширины линии с шириной линии от 25 до 1 000 нм.

GB/T 39516-2020 История