ISO 21859:2019 Тонкая керамика (усовершенствованная керамика, усовершенствованная техническая керамика). Метод испытания плазменной стойкости керамических компонентов в оборудовании для производства полупроводников.

сфера применения: В этом документе описан метод испытаний плазменной стойкости керамических компонентов оборудования для производства полупроводников. Он применим к керамическим компонентам плазменно-стойких компонентов в камерах сухого травления, используемых в производстве полупроводников.

ISO 21859:2019 Ссылочный документ

ISO 18452 Тонкая керамика (высокотехнологичная керамика, усовершенствованная техническая керамика) - Определение толщины керамических пленок контактно-зондовым профилометром.
ISO 3274 Геометрические характеристики изделия (GPS) - Текстура поверхности: Профильный метод - Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов; Техническое исправление 1
ISO 4287 Геометрические спецификации продукции (GPS) - Текстура поверхности: метод профиля - Термины, определения и параметры текстуры поверхности; Техническое исправление 2

2019 ISO 21859:2019 Тонкая керамика (усовершенствованная керамика, усовершенствованная техническая керамика). Метод испытания плазменной стойкости керамических компонентов в оборудовании для производства полупроводников.