IEC 62047-32:2019
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 32. Метод испытания нелинейной вибрации МЭМС-резонаторов.

Стандартный №

IEC 62047-32:2019

Дата публикации

2019

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-32:2019

сфера применения

В этой части стандарта IEC 62047 определены метод и условия испытаний нелинейной вибрации МЭМС-резонаторов.Утверждения, содержащиеся в этом документе, применимы к разработке и производству МЭМС-резонаторов.

IEC 62047-32:2019 История

• 2019 IEC 62047-32:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 32. Метод испытания нелинейной вибрации МЭМС-резонаторов.