VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020
Технология оптических измерений микротопографии - калибровка интерферометров для измерения площади и интерференционных микроскопов для измерения формы

Стандартный №

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020

Дата публикации

2020

Разместил

SCC

Последняя версия

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020 История

• 2020 VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020 Технология оптических измерений микротопографии - калибровка интерферометров для измерения площади и интерференционных микроскопов для измерения формы
• 2018 VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Калибровка von flaechenhaftmessenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung