GB/T 40566-2021 (Англоязычная версия) Гранулированный поликремний, полученный методом псевдоожиженного слоя. Определение водорода. Импульсный нагрев в инертном газе, метод инфракрасного поглощения.

Стандартный №: GB/T 40566-2021
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2021
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 40566-2021

сфера применения

Техническое обоснование и значение стандарта

В связи с растущим спросом в фотоэлектрической промышленности на высокочистые кремниевые материалы, гранулированный кремний, полученный методом псевдоожиженного слоя, стал важным сырьем благодаря высокой эффективности производства и низкому энергопотреблению. Водород, ключевая примесь, влияющая на электрические свойства кремниевых материалов, имеет решающее значение для контроля качества. Выпуск GB/T40566-2021 восполняет пробел в стандартных методах в этой области.

Принцип определения ядра

В этом методе используется анализатор водорода с импульсным нагревом и инертным газом и инфракрасным детектированием, а детектирование осуществляется с помощью следующего процесса:

Образец плавится в графитовом тигле при высокой температуре более 2500 ℃.
Выделяющаяся H₂ преобразуется в H₂O с помощью оксида меди редкоземельного элемента.
Характерное поглощение молекул воды измеряется с помощью инфракрасной системы детектирования.

Реальное исследование случая

Результаты испытаний определенной компании имели большое отклонение. После расследования было установлено, что:

Использование обычного аргона (чистота 99,9%) привело к увеличению фонового значения
Не дегазированный предварительно графитовый тигель вызывает адсорбцию водорода

Меры по улучшению:

Заменить на 99,999% высокочистый инертный газ
Добавить процесс дегазации тигля (4000 Вт/25 с)
Использовать спектрально чистый графитовый рукавный тигель

После улучшения RSD снизилось с 12% до 3,5%

Точки работы прибора

Стандарт рекомендует использовать анализатор водорода со следующими характеристиками:

Температура печи ≥2500℃ (мощность ≥6,6 кВт)
Точность измерения водорода <0,00005 мг
Оснащен системой дегазации с двойным тиглем

Типичные рабочие параметры:

Система обеспечения качества

Стандарты устанавливают трехуровневый контроль качества:

Параметры	Традиционный метод	Этот стандартный метод	Преимущества

Частота	Меры контроля	Требования к допускам
Каждая партия	Калибровка со стандартными материалами	±5% от значения сертификации
Каждые 20 образцы	Холостой тест	＜предел обнаружения метода
Каждый образец	Повторное определение	RSD≤7,5%

GB/T 40566-2021 Ссылочный документ

GB/T 14264 Терминология полупроводниковых материалов*， 2024-04-25 Обновление
GB/T 6379.2 Точность (правильность и точность) методов измерения и результатов. Часть 2: Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерения.
GB/T 8170 Правила округления числовых значений и выражения и определения предельных значений

GB/T 40566-2021 История

2021 GB/T 40566-2021 Гранулированный поликремний, полученный методом псевдоожиженного слоя. Определение водорода. Импульсный нагрев в инертном газе, метод инфракрасного поглощения.

Гранулированный поликремний, полученный методом псевдоожиженного слоя. Определение водорода. Импульсный нагрев в инертном газе, метод инфракрасного поглощения.