ISO/FDIS 21360-5:2023 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 5. Вакуумные насосы с неиспаряющимися геттерами (NEG)
International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO/FDIS 21360-5:2023
ISO/FDIS 21360-5:2023 История
2023ISO/FDIS 21360-5:2023 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 5. Вакуумные насосы с неиспаряющимися геттерами (NEG)