KS C IEC TS 62607-6-4-2022 Нанопроизводство. Ключевые контрольные характеристики. Часть 6-4. Графен. Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансного резонатора
2022KS C IEC TS 62607-6-4-2022 Нанопроизводство. Ключевые контрольные характеристики. Часть 6-4. Графен. Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансного резонатора