Этот стандарт определяет методы обнаружения и составление отчетов о проверке газов, используемых в интегральных схемах, требования к упаковке и хранению, требования безопасности и защиты окружающей среды, а также основные требования к управлению производственным процессом.
T/ICMTIA 1-2019 История
2019T/ICMTIA 1-2019 Инновационный альянс технологий промышленности материалов для интегральных схем — спецификация на газовой основе