T/ZGM 003-2022
Требования к оценке качества и предшественника - Мембранные элементы для терминальной фильтрации в полупроводниковой промышленности (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ZGM 003-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

состояние

быть заменен 2023-09

быть заменен

T/ZGM 003-2023

Последняя версия

T/ZGM 003-2023

сфера применения

Подходит для очистки полупроводников, нанесения клея и процессов травления. Толщина, поток, температура пузырька, растворение металла и растворение NVR микропористой фильтрующей мембраны необходимы для удовлетворения технологических требований.

T/ZGM 003-2022 История

• 2023 T/ZGM 003-2023 Требования к оценке качества и предшественник — Погружные мембранные модули ультрафильтрации из полых волокон для очистки питьевой воды
• 2022 T/ZGM 003-2022 Требования к оценке качества и предшественника - Мембранные элементы для терминальной фильтрации в полупроводниковой промышленности
• 2021 T/ZGM 003-2021 Требования к оценке предшествующего стандарта — ультрафильтрационные мембраны