Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки и требования к упаковке, маркировке, транспортировке, хранению и безопасности продукции для газообразного аммиака, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на газообразный аммиак, используемый в электронной промышленности, который очищается методами адсорбции и ректификации с использованием промышленного аммиака в качестве сырья. Молекулярная формула: NH3. Относительная молекулярная масса: 17,031 (согласно международной относительной атомной массе 2005 г.).
T/DLSHXH 001-2018 История
2023T/DLSHXH 001-2023 Технические характеристики оборудования для процесса безводного крашения в сверхкритическом диоксиде углерода
2022T/DLSHXH 001-2022 Технические характеристики оборудования для процесса безводного крашения в сверхкритическом диоксиде углерода
2020T/DLSHXH 001-2020 Руководство по технической приемке водородных заправочных станций