International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 19694-7:2024
сфера применения
В этом документе представлена методология расчета выбросов парниковых газов (ПГ) в индустрии полупроводников и дисплеев. Этот документ включает производство полупроводниковых приборов, микроэлектромеханических систем (MEMS), фотоэлектрических (PV) устройств и дисплеев. Этот документ позволяет сообщать о выбросах парниковых газов для различных целей и на разных основах, например, по каждому заводу, по компании (по стране или по региону) или по международной группе. В этом документе рассматриваются все следующие прямые и косвенные источники парниковых газов:
——— прямые выбросы парниковых газов [согласно определению в ISO 14064-1:2018, 5.2.4 a)] из источников, которые принадлежат компании или контролируются ею, например, выбросы. в результате следующих источников:
——процесс: газы фторированных соединений (FC) и закись азота (N2O), используемые при травлении и очистке пластин (EWC), удаленной плазменной очистке (RPC), плазменной очистке in situ (IPC), термической очистке in situ (ITC), осаждении тонких пленок N2O (TFD) и другие процессы, использующие N2O;
——сгорание топлива, связанное с оборудованием и транспортными средствами на площадке, отопление/охлаждение помещений;
——сжигание топлива для выработки электроэнергии на месте;
——косвенные выбросы ПГ [как определено в ISO 14064-1:2018, 5.2.4 b)] от производства импортированной электроэнергии, тепла или пара, потребляемых организацией. Другие косвенные выбросы парниковых газов [согласно определению в ISO 14064-1:2018, 5.2.4 c)–f)], которые являются следствием деятельности организации, но возникают из источников парниковых газов, которые принадлежат или контролируются другими организациями, исключаются. из этого документа.
ISO 19694-7:2024 Ссылочный документ
ISO 14064-1:2018 Парниковые газы. Часть 1. Спецификация с руководством на уровне организации по количественному определению и отчетности о выбросах и абсорбции парниковых газов.
ISO 19694-1:2021 Выбросы от стационарных источников. Определение выбросов парниковых газов в энергоемких производствах. Часть 1. Общие аспекты
ISO/IEC Guide 98-3:2008 Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).