DIN 50451-6:2014-11
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 6. Определение 36 элементов в растворе фторида аммония высокой чистоты (NH<(Index)4>F) и в травильных смесях аммония высокой чистоты. ..