NF EN ISO 25178-603:2013 Геометрические спецификации изделия (GPS). Чистота поверхности: площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрические микроскопы со скользящей полосой)
2013NF EN ISO 25178-603:2013 Геометрические спецификации изделия (GPS). Чистота поверхности: площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрические микроскопы со скользящей полосой)