В этом документе описаны процедуры измерения скорости выделения газа из компонентов, предназначенных для вакуумных камер и вакуумных камер в целом. Ожидается, что скорость газовыделения будет ниже 10–5 Па м3 с–1 (10–2 Па л с–1) при 23 °C и будет наблюдаться в устройствах, подходящих для применения в условиях высокого или сверхвысокого вакуума. Молекулярная масса выделяющих газов или паров составляет менее 300 ед. Верхний предел общей скорости газовыделения 10-5 Па м3/с-1 устанавливается независимо от размера, общей площади поверхности и текстуры или состояния выделяющего газ материала. Если определяется удельная скорость газовыделения (скорость газовыделения на площадь), то под площадью понимают не удельную площадь поверхности, включая шероховатость поверхности, а номинальную геометрическую. Когда трудно определить номинальную геометрическую площадь поверхности образца, например, порошков, пористых материалов, очень шероховатых поверхностей или сложных устройств, используется удельная массовая скорость газовыделения (например, скорость газовыделения на грамм). Для многих практических приложений достаточно определить общую скорость газовыделения. Если используется измерительный прибор, чувствительность которого зависит от вида газа, общая скорость газовыделения указывается в азотном эквиваленте. Однако в тех случаях, когда общая скорость газовыделения слишком высока, идентифицируется мешающий тип газа и измеряется скорость его газовыделения, чтобы улучшить качество материала пробы. Этот документ охватывает оба случая. Некоторые выделяющие газ молекулы могут адсорбироваться на поверхности в течение времени пребывания, значительно превышающего общее время измерения. Такие молекулы не могут быть обнаружены детекторным прибором при отсутствии прямой видимости. Это рассматривается как поверхностный эффект, и поверхностные аналитические исследования более полезны, чем общие измерения скорости газовыделения, рассматриваемые здесь. Кроме того, молекулы, которые высвобождаются с поверхности при облучении УФ-светом или рентгеновскими лучами, выходят за рамки данного документа. ......
GSO ISO/TS 20177:2024 История
2024GSO ISO/TS 20177:2024 Вакуумная технология. Вакуумметры. Процедуры измерения и регистрации скорости газовыделения.