GB/T 39159-2020 (Англоязычная версия) Мишень из медного сплава высокой чистоты для интегральных схем

сфера применения: Настоящий стандарт определяет классификацию, технические требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, сертификаты качества «упаковки, транспортировки, хранения» и листы заказов (или контракты) на мишени из медных сплавов высокой чистоты для интегральных схем (далее - материалы для стяжки). Настоящий стандарт распространяется на мишени из медно-алюминиевого сплава (CuAl) высокой чистоты и мишени из медно-марганцевого сплава (CuMn) высокой чистоты для производства интегральных схем.

GB/T 39159-2020 Ссылочный документ

GB/T 14265 Общие правила химического анализа на водород, кислород, азот, углерод и серу в металлических материалах
GB/T 36165 Определение среднего размера зерна металла. Метод дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD).
GB/T 8170 Правила округления числовых значений и выражения и определения предельных значений
GB/T 8651 Метод дефектоскопии пластинчатой ультразвуковой волной металлических листов
YS/T 482 Методы анализа меди и медных сплавов. Атомно-эмиссионная спектрометрия искрового разряда.*， 2022-09-30 Обновление
YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной

2020 GB/T 39159-2020 Мишень из медного сплава высокой чистоты для интегральных схем