В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила проверки, знаки, упаковка, транспортировка, хранение и безопасность газообразного хлора, используемого в интегральных схемах. Этот документ распространяется на газообразный хлор, используемый при производстве интегральных схем.