PD IEC/TS 62607-6-4:2016 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. Графен. Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансного резонатора
2016PD IEC/TS 62607-6-4:2016 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. Графен. Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансного резонатора