Настоящая техническая спецификация определяет общую терминологию для глобальных и локальных параметров качества искусственных решеток@, интерпретируемых как отклонения от номинального положения элементов решетки@, и содержит рекомендации по категоризации методов измерения и оценки для их определения. Настоящая спецификация предназначена для облегчения взаимодействия между производителями, пользователями и калибровочными лабораториями, занимающимися определением параметров качества искусственных решеток, используемых в нанотехнологиях. Эта спецификация поддерживает обеспечение качества при производстве и использовании искусственных решеток в различных областях применения нанотехнологий. Хотя определения и описанные методы универсальны для большого числа различных решеток, основное внимание уделяется одномерным (1D) и двумерным (2D) решеткам.
TS 62622-2012 История
2012TS 62622-2012 Нанотехнологии - Описание @ измерения и размерные параметры качества искусственных решеток (Редакция 1.0)