IEC 63068-3:2020
Полупроводниковые приборы. Критерии неразрушающего распознавания дефектов в гомоэпитаксиальных пластинах карбида кремния для силовых устройств. Часть 3. Метод испытания дефектов с использованием фотолюминесценции
- Стандартный №
- IEC 63068-3:2020
- Дата публикации
- 2020
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 63068-3:2020
IEC 63068-3:2020 История
- 2020 IEC 63068-3:2020 Полупроводниковые приборы. Критерии неразрушающего распознавания дефектов в гомоэпитаксиальных пластинах карбида кремния для силовых устройств. Часть 3. Метод испытания дефектов с использованием фотолюминесценции
