T/ICMTIA 4.1-2020
Мономер фоторезиста ArF для интегральных схем. Часть 1. Жидкий метакрилат. (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ICMTIA 4.1-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ICMTIA 4.1-2020

сфера применения

В этом документе указаны термины и определения мономеров фоторезиста аргона для интегральных схем, часть 1, жидкие метакрилаты, виды продукции и структурные характеристики, технические требования, методы анализа и обнаружения, технологические требования, требования к упаковке, хранению и транспортировке.

T/ICMTIA 4.1-2020 История

• 2020 T/ICMTIA 4.1-2020 Мономер фоторезиста ArF для интегральных схем. Часть 1. Жидкий метакрилат.