В этом документе представлены планирование, выбор места и требования к проектированию контролируемой среды для наномасштабных научных исследований и производства. Этот документ применяется к планированию и проектированию контролируемых сред для наномасштабных научных исследований и производства.
GB/T 40868-2021 История
2021GB/T 40868-2021 Планирование и проектирование контролируемой среды для исследований и производства в нанометровом масштабе