В этом документе установлены технические требования, правила проверки, методы испытаний, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и требования к информации по безопасности для этилена, используемого в интегральных схемах. Настоящий документ распространяется на этилен для интегральных схем, очищенный от промышленного этилена.