KS I ISO 14644-13:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей для достижения определенного уровня чистоты с точки зрения классификации частиц и химических веществ.
2019KS I ISO 14644-13:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей для достижения определенного уровня чистоты с точки зрения классификации частиц и химических веществ.