Этот стандарт определяет требования к целостности, методы проверки и оценки машин ионно-лучевого травления, используемых в производстве полупроводниковых приборов. Настоящий стандарт распространяется на машины ионно-лучевого травления, используемые при производстве и научных исследованиях электронной продукции.
SJ/T 31100-1994 История
1994SJ/T 31100-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки машин ионно-лучевого травления