Этот стандарт определяет требования к целостности, методы проверки и оценки станков для снятия фасок типа 8614 и SVG-14. Настоящий стандарт распространяется на станки для снятия фасок, используемые при производстве интегральных схем.
SJ/T 31099-1994 История
1970SJ/T 31099-1994 Требования к готовности и методы контроля и оценки станков для снятия фасок.