SJ/Z 2926-1988
Методы испытаний свойств масочного оборудования для производства микросхем (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/Z 2926-1988

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1988

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/Z 2926-1988

сфера применения

Настоящий руководящий технический документ применим к основным методам проверки работоспособности трех типов оборудования для изготовления оптических пластин: автоматических гравировальных (рисуночных) плоттеров, генераторов узоров и компактных фотоаппаратов. Целью испытания является проверка соответствия показателей технических характеристик оборудования исходным требованиям конструкции или применения. Методы испытаний работоспособности, не указанные в настоящем руководящем техническом документе, должны быть указаны отдельно в различных технических документах на оборудование.

SJ/Z 2926-1988 История

• 1988 SJ/Z 2926-1988 Методы испытаний свойств масочного оборудования для производства микросхем