Настоящий стандарт определяет определение, требования, методы испытаний, правила и знаки проверки, упаковку, транспортировку и хранение развивающего оборудования. Настоящий стандарт распространяется на разработку оборудования для полупроводниковых интегральных схем, кремниевых пластин в транзисторах, кварц-хромовых пластин, стеклянных пластин и т.п.
SJ/T 11184-1998 История
1970SJ/T 11184-1998 Общие технические условия на разработку оборудования