SJ/T 31126-1994
Требования готовности и методы проверки и оценки систем MOCVD YL-1 (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ/T 31126-1994
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- состояние
- 2010-02
- Последняя версия
- SJ/T 31126-1994
- сфера применения
- Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки оборудования для химического осаждения из паровой фазы органических соединений металлов (называемого оборудованием MOCVD). Настоящий стандарт распространяется на оборудование MOCVD типа YL-I.
SJ/T 31126-1994 История
- 1970 SJ/T 31126-1994 Требования готовности и методы проверки и оценки систем MOCVD YL-1
