Этот стандарт определяет принцип измерения дифракции рентгеновских лучей, процедуры измерения, расчет результатов и точность торцевых поверхностей монокристаллических слитков арсенида галлия и фосфида индия, а также ориентацию кристаллов пластины. Этот стандарт применим для определения кристаллической ориентации монокристаллических пластин, поверхность которых обычно параллельна (в пределах 10^(·)) определенной атомной плоскости с низким индексом Миллера.
SJ 3244.3-1989 История
1989SJ 3244.3-1989 Методы измерения кристаллоориентации монокристаллов арсенида галлия и фосфида индия