DIN 50451-7:2018-04
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.

Стандартный №

DIN 50451-7:2018-04

Дата публикации

2018

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN 50451-7:2018-04

сфера применения

В данном документе описан метод определения микроэлементов в высокочистой соляной кислоте, имеющих решающее значение для полупроводниковой технологии. Метод охватывает следующие элементы: Ag, Al, As, Ba, B, Be, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, In, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Pb, Sb, Sr, Ti, V, W, Zn и Zr. Используемый аналитический метод – масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS). Данный метод применим к массовым долям микроэлементов в диапазоне от 100 нг/кг до 10 000 нг/кг. Метод концентрирования путем испарения (см. раздел 5.3) также применим к другим испаряющимся жидкостям при условии, что степень извлечения аналита составляет от 70% до 130%. Примечание: Данная спецификация может также использоваться для других элементов при условии, что статистические методологические характеристики, определенные для этого элемента, соответствуют требованиям раздела 12.

DIN 50451-7:2018-04 Ссылочный документ

• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• DIN 50451-5 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов и проверке их пригодности для аппаратуры для отбора проб и подготовки проб для определения t.*， 2022-08-01 Обновление
• DIN EN ISO 1043-1 Пластмассы. Символы и сокращенные термины. Часть 1. Основные полимеры и их особые характеристики (ISO 1043-1:2011 + Изм.1:2016); Немецкая версия EN ISO 1043-1:2011 + A1:2016.
• DIN EN ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц (ISO 14644-1:2015); Немецкая версия EN ISO 14644-1:2015.
• DIN EN ISO 17294-2 Качество воды. Применение масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ИСП-МС). Часть 2. Определение выбранных элементов, включая изотопы урана (ISO 17294-2:2023, исправленная версия 2024-02)*， 2024-12-01 Обновление
• DIN EN ISO 8655-2 Приборы мерные поршневые. Часть 2. Пипетки (ISO 8655-2:2022); Немецкая версия EN ISO 8655-2:2022*， 2022-11-01 Обновление
• DIN ISO 3696 Вода для аналитических лабораторных целей; спецификации и методы испытаний; идентично ISO 3696:1987
• DIN ISO 5725-2 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений.*， 2022-05-01 Обновление
• DIN ISO 5725-4 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4. Основные методы определения правильности стандартного метода измерений (ISO 5725-4:1994)
• VDI 2083 Blatt 1 Технологии чистых помещений, Классы чистоты воздуха по частицам, Технологии чистых помещений, Классы чистоты воздуха по частицам*， 2022-06-01 Обновление

DIN 50451-7:2018-04 История

• 2018 DIN 50451-7:2018-04 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
• 2018 DIN 50451-7:2018 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
• 2017 DIN 50451-7:2017-09 Проект документа - Испытание материалов для полупроводниковой технологии - Определение следов элементов в жидкостях - Часть 7: Определение 31 элемента в высокочистой соляной кислоте методом ИСП-МС
• 2017 DIN 50451-7 E:2017-02 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 7. Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
• 2017 DIN 50451-7 E:2017 Проект документа - Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение следов элементов в жидкостях - Часть 7: Определение 31 элемента в соляной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации