1.1 В настоящем руководстве описаны процедуры создания единого набора согласованных эталонных материалов (ConRefs) при отсутствии подходящих сертифицированных эталонных материалов из установленного источника.
1.2 В этом руководстве описаны шаги, которые необходимо предпринять для создания набора ConRefs для определенного свойства или семейства связанных свойств, необходимых в полупроводниковой технологии.
1.3 Процедура создания набора ConRefs основана на межлабораторных испытаниях в соответствии с Методикой E 691. Для целей настоящего руководства предполагается, что метод испытаний, оцененный в ходе межлабораторного исследования (ILS), подходит для определения значений свойств ConRef. В настоящем руководстве не рассматривается выбор одного из нескольких возможных методов испытаний, а также случаи, когда при измерении свойств ConRef необходимо использовать другие эталонные материалы.
1.4 В этом руководстве также описаны процедуры, которые можно использовать для создания согласованных значений свойств, которые могут служить основой для создания нескольких наборов CRM или справочных материалов (RM).
ASTM F1569-94(1999) Ссылочный документ
ASTM E456 Стандартная терминология, касающаяся качества и статистики*, 1996-05-14 Обновление
ASTM E691 Стандартная практика проведения межлабораторного исследования для определения точности метода испытаний*, 1999-05-14 Обновление
ISO 10012-1 Требования к обеспечению качества измерительного оборудования; часть 1: Система метрологического подтверждения средств измерений
ISO 8402 Управление качеством и обеспечение качества — Словарь
ASTM F1569-94(1999) История
1994ASTM F1569-94(1999) Руководство по созданию согласованных справочных материалов для полупроводниковой технологии