Этот стандарт устанавливает различные требования к монокристаллическим печам Чохральского серии TDR, включая спецификации продукции, технические требования, методы испытаний, правила проверки, заказ и поставку и т. д. Настоящий стандарт применим к печам для производства монокристаллов, используемым для вытяжки полупроводникового кремния, германия и других монокристаллов методом Чохральского.
JB/T 10439-2004 История
2004JB/T 10439-2004 Печи для выращивания кристаллов Печи для выращивания кристаллов серии TDR методом Чохральского