EN 62047-14:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения пределов формирования металлических пленочных материалов.
European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）
Последняя версия
EN 62047-14:2012
сфера применения
В стандарте IEC 62047-14:2012 описаны определения и процедуры измерения предела формирования металлических пленочных материалов толщиной от 0,5 мкм до 300 мкм. Описанные здесь металлические пленочные материалы обычно используются в электрических компонентах, МЭМС и микроустройствах. Когда металлические пленочные материалы, используемые в МЭМС (см. 2.1.2 стандарта IEC 62047-1:2005), изготавливаются с помощью процесса формования, такого как впечатывание, необходимо прогнозировать разрушение материала, чтобы повысить надежность компонентов. Благодаря этому прогнозу эффективность производства компонентов МЭМС с помощью процесса формовки также может быть повышена, поскольку период разработки продукта может быть сокращен и, таким образом, могут быть снижены производственные затраты. В этом стандарте представлен один из методов прогнозирования разрушения материала в процессе печати.
EN 62047-14:2012 История
2012EN 62047-14:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения пределов формирования металлических пленочных материалов.