Предметом стандарта является? методы испытания основных параметров вакуумных турбомолекулярных насосов: а) определение скорости откачки, б) измерение конечного давления, в) определение степени сжатия, г) измерение максимального рабочего давления, д) измерение времени пуска, е ) измерение вибрации. Потому что? Применение турбомолекулярных насосов охватывает широкий диапазон давлений, методы испытаний этих насосов различаются. си? в зависимости от диапазона достигнутых входных давлений. выделяется два диапазона давления:
——выше 10~4 Па, - ниже 10~4 Па.
PN M43853-1991 История
1991PN M43853-1991 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Методы измерения эксплуатационных характеристик