Этот стандарт определяет требования к целостности, методы проверки и оценки режущего станка 6-CTVH-B. Настоящий стандарт распространяется на режущие станки, используемые при производстве полупроводниковых интегральных схем.
SJ/T 31090-1994 История
1970SJ/T 31090-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки режущих станков 6-КТВХ-Б