Настоящий стандарт определяет типы и основные параметры распространенных типов распылительных ионных насосов. Настоящий стандарт распространяется на двухпотенциальные диодные и трехполюсные дополнительные насосы с распылением.
JB/T 4081-1991 История
2011JB/T 4081-2011 Вакуумная технология – ионный насос распыления
1991JB/T 4081-1991 Тип и основные параметры распылительного ионного насоса