Настоящий стандарт определяет общие понятия электронно-оптических приборов, электронно-оптических систем, вакуумных систем, электронных систем, просвечивающих электронных микроскопов, сканирующих электронных микроскопов, электронно-зондовых рентгеновских микроанализаторов, пробоподготовительных устройств и других вспомогательных устройств.263 изделия. Настоящий стандарт применяется к разработке стандартов оптических приборов, подготовке технической документации, переводу учебных материалов, книг и периодических изданий и т. д.