JB/T 8320-1996 Трубки из кварцевого стекла с покрытием, предназначенные для использования в процессе производства силовых полупроводниковых приборов. (Англоязычная версия)
Этот стандарт определяет структуру, характеристики, технические требования, методы контроля и правила трубок из кварцевого стекла для целей обработки силовых полупроводниковых приборов. Настоящий стандарт распространяется на трубки из кварцевого стекла, изготовленные из природных кристаллов в качестве сырья и имеющие тонкий слой, устойчивый к высоким температурам, на поверхности стенок трубки для использования в технологии силовых полупроводниковых приборов.
JB/T 8320-1996 История
1996JB/T 8320-1996 Трубки из кварцевого стекла с покрытием, предназначенные для использования в процессе производства силовых полупроводниковых приборов.