T/ZZB 0093-2016
Мишень из распыленного титана высокой чистоты, используемая в интегральных схемах (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ZZB 0093-2016

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2016

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ZZB 0093-2016

сфера применения

Настоящий стандарт определяет термины, определения, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортировку, хранение, обеспечение качества и гарантию обслуживания мишеней для распыления из титана высокой чистоты для интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на все виды титановых мишеней для распыления, используемых при производстве тонких электронных пленок в интегральных схемах.

T/ZZB 0093-2016 История

• 2016 T/ZZB 0093-2016 Мишень из распыленного титана высокой чистоты, используемая в интегральных схемах