VDI 3824 Blatt 2.1-1995 Обеспечение качества покрытий твердых материалов PVD и CVD - PVD: Требования к инструментам и компонентам, на которые будет нанесено покрытие.
1997VDI 3824 Blatt 2-1997 Обеспечение качества твердых покрытий PVD и CVD. Требования к инструментам и компонентам, подлежащим нанесению покрытия.
1995VDI 3824 Blatt 2.1-1995 Обеспечение качества покрытий твердых материалов PVD и CVD - PVD: Требования к инструментам и компонентам, на которые будет нанесено покрытие.