BS IEC 62047-36:2019
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний на стойкость к воздействию окружающей среды и диэлектрической стойкости тонких пьезоэлектрических пленок MEMS.
- Стандартный №
- BS IEC 62047-36:2019
- Дата публикации
- 2019
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS IEC 62047-36:2019
- сфера применения
- Что такое BS IEC 62047-36 — Методы испытаний тонких пьезоэлектрических пленок MEMS? BS IEC 62047 — это международный стандарт, в котором рассматриваются полупроводниковые устройства, включая микроэлектромеханические устройства. Основная цель серии стандартов IEC 62047 — предоставить предприятиям, занимающимся полупроводниковыми технологиями, лучшие отраслевые методы для демонстрации надежности и производительности своих устройств и компонентов. BS IEC 62047-36 является 36-й частью серии, которая определяет методы испытаний для оценки долговечности пьезоэлектрических тонкопленочных материалов MEMS под воздействием окружающей среды, таких как температура и влажность, а также при электрическом напряжении, а также условия испытаний для соответствующей оценки качества. В частности, BS IEC 62047-36 определяет методы испытаний и условия испытаний для измерения долговечности ИУ в условиях температуры, влажности и приложенного напряжения. Это также применимо к оценке обратных пьезоэлектрических свойств тонких пьезоэлектрических пленок, сформированных преимущественно на кремниевых подложках, т.е. тонких пьезоэлектрических пленок, используемых в качестве приводов. Примечание. BS IEC 62047-36 не охватывает оценки надежности, такие как методы прогнозирования срока службы тонкой пьезоэлектрической пленки на основе распределения Вейбулла. Для кого предназначен BS IEC 62047-36 — Методы испытаний тонких пьезоэлектрических пленок MEMS? Применяется стандарт BS IEC 62047-36 для тонких пьезоэлектрических пленок MEMS.
BS IEC 62047-36:2019 История
- 2019 BS IEC 62047-36:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний на стойкость к воздействию окружающей среды и диэлектрической стойкости тонких пьезоэлектрических пленок MEMS.
