NF C96-050-17*NF EN 62047-17:2015
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпуклость для измерения механических свойств тонких пленок.

Стандартный №

NF C96-050-17*NF EN 62047-17:2015

Дата публикации

2015

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF C96-050-17*NF EN 62047-17:2015

NF C96-050-17*NF EN 62047-17:2015 История

• 2015 NF C96-050-17*NF EN 62047-17:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпуклость для измерения механических свойств тонких пленок.