В этом документе указаны термины и определения, классификация продукции, основные требования, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортировка и хранение, содержание заказа (или контракта) и обязательства по качеству. Настоящий документ распространяется на шлифовальные пластины монокристалла кремния диаметром 100 мм, 125 мм и 150 мм, изготовленные методом Чохральского с использованием поликремния электронного качества в качестве основного сырья.
T/ZZB 2675-2022 История
2022T/ZZB 2675-2022 Монокристаллический кремний в виде притертых пластин для ТВС.