Настоящая Техническая спецификация содержит термины и определения, относящиеся к процессам нанопроизводства в области нанотехнологий. Он представляет собой часть многочастной документации по терминологии и спецификациям, охватывающей различные аспекты нанотехнологий. Все термины, относящиеся к процессам в этом документе, относятся к нанопроизводству. Многие из перечисленных процессов не относятся исключительно к наномасштабу. В зависимости от контролируемых условий такие процессы могут привести к появлению свойств материала на наноуровне или, альтернативно, на более крупных масштабах. Существует множество других терминов, связанных с нанопроизводством, которые относятся к инструментам, деталям, материалам, процедурам управления системой или процедурам метрологии, но они выходят за рамки данного документа.