PAS 135-2007
Терминология нанопроизводства

Стандартный №

PAS 135-2007

Дата публикации

2007

Разместил

British Standards Institution (BSI)

сфера применения

В этой общедоступной спецификации (PAS) перечислены термины и определения, используемые или связанные с наименованием или описанием применений нанотехнологий для изготовления компонентов, устройств, структур или систем наноразмерных размеров, известных в этом документе как нанопроизводство. Эти термины относятся конкретно к производству структур и элементов устройств, размер которых обычно составляет менее 100 нм в более чем 1 измерении. Он применим, хотя и не ограничивается ими, к инструментам и технологиям изготовления электрических, электронных, магнитных, механических, оптических компонентов, устройств, структур и систем, а также к изготовлению более крупных структур, компонентов, устройств и систем из наноразмерных элементов. ПРИМЕЧАНИЕ. Термин «нанолитография» используется некоторыми как синоним нанопроизводства. В этом документе нанолитография рассматривается как часть процесса нанопроизводства. Этот PAS предназначен для использования технологами, регулирующими органами, неправительственными организациями (НПО), потребительскими организациями, представителями общественности и другими лицами, заинтересованными в применении или использовании нанотехнологий в предметной области. ПРИМЕЧАНИЕ. Изготовление наночастиц описано в PAS 71:2005.